# # EN
#
联系我们
# #
首页 行业方案 半导体及集成电路 晶圆缺陷检测

晶圆缺陷检测

晶圆缺陷检测

半导体制造工艺复杂，为确保质量，几乎每一道工序都需进行严格检测。若缺陷品流入后续环节，不仅会严重影响产品整体质量，还将造成生产成本的大幅上升。

面向晶圆表面缺陷与尺寸检测需求，地心科技各系列运动平台可为自动检测设备集成商提供多样化性能解决方案，支持蛇形折返飞拍线性扫描、面阵相机点对点区域检测、高速螺旋轨迹检测等多种模式，实现晶圆的准确、高效筛选。

推荐产品

ASP系列
ASP系列
# #

高精度高转速气浮转台，尤其支持螺旋线扫描模式，实测可达最高6000rpm的超高转速

Surface系列
Surface系列
# #

兼具高精度和高动态性能平面气浮平台，可与SurfaceZ、SurfaceTheta组合为X-Y-Z-Theta的多轴系统， 适用于不同尺寸的和工艺的晶圆检测应用

ONEXY系列
ONEXY系列
# #

高刚性、模块化的XY两轴直驱运动平台，可配合Z轴自动对焦，显著提升检测吞吐量

ZTT-V2系列
ZTT-V2系列
# #

集成了Z轴升降与θx、θy两个倾斜自由度的精密调平模块，晶圆上任意检测点都精确落在物镜的焦平面内，保证整片晶圆的成像清晰度与检测重复性

赋能案例

一文总结｜精密运动平台在晶圆缺陷检测中的多种应用 突破芯片良率提升边界，地心科技晶圆螺旋检测方案为行业发展提质增速 晶圆缺陷检测，解决“自动追焦”难题提高检测精度与效率
一文总结｜精密运动平台在晶圆缺陷检测中的多种应用
# #

查看详情
# #
突破芯片良率提升边界，地心科技晶圆螺旋检测方案为行业发展提质增速
# #

查看详情
# #
晶圆缺陷检测，解决“自动追焦”难题提高检测精度与效率
# #

查看详情
# #
# #

技术资料

一站式产品资料库

# #

售后服务

全周期持续护航

# #

常见问题

高频疑问即查即得

#

需要工程师帮助选型或者获取报价?

联系我们，打造你的定制化精密运动解决方案

即刻留言
# #
#
提交表单