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UCS100SD系列
高灵活度丝杠驱动直线台
UCS100SD系列是高精密定位平台，采用交流无刷伺服电机加滚珠丝杠驱动，侧向高度低，结构紧凑。UCS100SD系列平台不仅有接近直驱电机一样的精度性能，还能更加灵活地使用。它既可以作水平直线轴使用，也可以选配抱闸，作为Z轴立起来与其它水平安装的直线平台配合使用，水平最大负载25Kg，侧向安装或者垂直安装最大负载10kg。UCS100SD系列有旋转编码器反馈配置，选配旋转编码器分辨率小于0.1μm。
UCS100SD系列平台是高精密丝杠传动平台，其主要特点是侧向高度低、结构紧凑，而且坚固耐用，平台带载里程超过2500km。UCS100SD提供高分辨率和重复定位精度，主要应用于半导体晶圆测试和制造、自动显微镜观测系统和高精度微机等应用。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
伺服电机滚珠丝杠驱动
低侧面高度，结构紧凑
坚固的机械结构
可灵活组成XY或XYZ三轴子系统
行程范围50mm到200mm
提供旋转编码器反馈选项
可配抱闸选项，带断电自锁功能
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | UCS100SD-050 | UCS100SD -100 | UCS100SD-150 | |
| 有效行程\Travel | 50 mm | 100 mm | 150 mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy (校准后) | ±0.5 μm | ±0.75 μm | ±1.0 μm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.3 μm | ±0.3 μm | ±0.3 μm | |
| 俯仰\Pitch | 6 arc sec | 8 arc sec | 10 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 6 arc sec | 8 arc sec | 10 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±1.25 µm | ±1.5 µm | ±1.75 µm | |
| 平面度\Flatness | ±1.25 µm | ±1.5 µm | ±1.75 µm | |
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 1.5 kg | 1.7 kg | 1.9 kg | |
| 最大负载\Load Capacity（1） | 水平 | 25 kg | ||
| 竖直 | 10 kg | |||
| 分辨率\Resolution | 旋转编码器 | 0.1 μm （2） | ||
| 最大速度\Maximum Speed（3） | 80 mm/s | |||
| 平台材质\Material | 铝 | |||
备注：
（1）有效载荷指标适用于单轴系统，并受限于2500公里行程的丝杠和滚珠寿命。
（2）适配RTTL5000反馈选项；
（3）使用占空比过高可能会影响精度；
（4）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（5）多轴配置或定制应用指标咨询厂商。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 载物台 | 反馈 |
| UCS100SD | -50 | -TTM | -RTTL5000 |
| -100 | -TTR | -RTTL2500 | |
| -150 | -TTKxx | ||
行程选项
| -50 | 50 mm行程 |
| -100 | 100 mm 行程 |
| -150 | 150 mm行程 |
载物台选项
| -TTM | 载物台公制安装孔 |
| -TTR | 载物台安装孔位，为指定转台设计 |
| -TTKxx | 为客户定制载物台 |
反馈选项
| -RTTL5000 | 2500线旋转编码器 |
| -RTTL2500 | 2500线旋转编码器 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
UCS100SD-050
UCS100SD-100
UCS100SD-150
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
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