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SMH115LM系列

高性价比机械直驱直线台

SMH115LM系列运动平台采用直线电机驱动,直驱电机速度快、动态性能好、摩擦力小,易于实现精密位置控制,非常适合大行程、高速度和高精度应用。


SMH115LM系列运动平台使用高分辨率光栅,电子分辨率可达1nm,通过校准可使平台达到亚微米级重复性和定位精度。而低摩擦侧密封保护其免受灰尘或颗粒污染,保证其长时间正常运行,延长维护周期。 SMH115LM系列为客户提供线缆管理选项,低摩擦侧封使日常维护更简易。


SMH115LM系列直线运动平台是精密机械中的关键部件之一,它主要应用于OLED切割、PCB钻孔、数控加工、生物技术、IC封装设备、表面形貌测量等领域。为客户提供一个兼具精密定位、高速度和大负载的精密运动平台。

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产品特点 参数规格 选型配置 产品尺寸

产品特点

硬核实力铸就卓越表现
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直驱电机高精度定位平台

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高性价比解决方案

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坚固的机械结构

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灵活的配置选项(不同行程、台面和反馈)

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行程范围50mm到600mm

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最大速度可达1000mm/s,最大加速度可达1g

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可选单侧或双侧线缆管理

参数规格

全方位地了解产品信息
平台型号\ModelSMH115LM-050SMH115LM-100SMH115LM-150SMH115LM-200
有效行程\Travel50mm100mm150mm200mm
绝对定位精度\Accuracy±0.75 μm±1 μm±1 μm±1.5 μm
双向重复定位精度\Bi-Repeatability±0.4 μm±0.4 μm±0.4 μm±0.5 μm
俯仰\Pitch5 arc sec6 arc sec7 arc sec8 arc sec
横滚\Roll5 arc sec6 arc sec7 arc sec8 arc sec
偏摆\Yaw5 arc sec6 arc sec7 arc sec8 arc sec
直线度\Straightness±1.5 µm±2.5 µm±3 μm±4 μm
平面度\Flatness±1.5 µm±2.5 µm±3 μm±4 μm
平台重量\Stage Mass5.2 kg5.7 kg6.3 kg6.8 kg
最大负载\Load Capacity水平安装40kg
侧向安装40kg
分辨率\Resolution(1)1nm
最小步进\Minimal Incremental Step(1)20nm
在位稳定性\In Position Stability (1)±10nm
最大速度\Maximum Speed(2)1m/s
最大加速度\Maximum Acceleration(2)1g
持续推力\Continuous Force31N
峰值推力\Peak Force217N
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours
平台型号\ModelSMH115LM-300SMH115LM-400SMH115LM-500SMH115LM-600
有效行程\Travel300mm400mm500mm600mm
绝对定位精度\Accuracy±1.5 μm±1.5 μm±2 μm±2 μm
双向重复定位精度\Bi-Repeatability±0.5 μm±0.5 μm±0.5 μm±0.5 μm
俯仰\Pitch12 arc sec16 arc sec20 arc sec24 arc sec
横滚\Roll12 arc sec16 arc sec20 arc sec24 arc sec
偏摆\Yaw12 arc sec16 arc sec20 arc sec24 arc sec
直线度\Straightness±6 μm±8 μm±9 μm±10 μm
平面度\Flatness±6 μm±8 μm±9 μm±10 μm
平台重量\Stage Mass8 kg9 kg10.4 kg11.5 kg
最大负载\Load Capacity水平安装40kg
竖直安装40kg
分辨率\Resolution(1)1nm
最小步进\Minimal Incremental Step(1)20nm
在位稳定性\In Position Stability (1)±10nm
最大速度\Maximum Speed(2)2m/s
最大加速度\Maximum Acceleration(2)2g
最大推力\Maximum Force31N
持续推力\Continuous Force217N
峰值推力\Peak Force
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours

备注:

(1)适配-AS反馈,以线性放大器;

(2)空载,需配置相应功率的放大器;

(3)默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;


选型配置

科学搭配,精准匹配所需
产品系列行程(mm)载物台反馈电缆管理
SMH115LM-50-TTM-AS-CMS0
-100-TTR-TTL010-CMS1
-150-TTKxx-TTL100-CMS2
-200


-300


-400


-500


-600



行程选项


-5050mm行程
-100100mm行程
-150150mm行程
-200200mm行程
-300300mm行程
-400400mm行程
-500500mm行程
-600600mm行程


载物台选项


-TTM载物台公制安装孔
-TTR载物台安装孔位,为指定转台设计
-TTKxx为客户定制载物台


反馈选项


-ASVPP 1伏正弦模拟量输入
-TTL01010nm分辨率数字量TTL信号输入
-TTL1000.1μm分辨率数字量TTL信号输入


电缆管理选项


-CMS0无电缆管理,仅留出电机反馈接头
-CMS1单侧托线板、单拖链
-CMS2双侧托线板、双拖链


产品尺寸

精细丈量,尺寸清晰一目了然
型号
BASIC MODEL
标称行程
NOMINAL TRAVEL
电子限位行程
ELEC LIMIT TRAVEL
机械限位行程
MECH LIMIT TRAVEL
AB
SMH115LM-0505057-6375280150
SMH115LM-100100107-113125330100250
SMH115LM-150150157-163175380100300
SMH115LM-200200207-213225430100350
SMH115LM-300300307-313325530100250450
SMH115LM-400400407-413425630100300500
SMH115LM-500500507-513525730100350600
SMH115LM-600600607-613625830100400700


备注:

(1)单位:mm;

(2)双侧拖链配置未显示。





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