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SMH225LM系列

高性价比机械直驱直线台

SMH225LM系列运动平台采用直线电机驱动,直驱电机的特点是速度快、动态性能好、摩擦力小,易于实现精密位置控制,非常适合大行程、高速度和高精度应用。


SMH225LM系列运动平台使用高分辨率光栅,电子分辨率可达1nm,通过校准可使平台达到亚微米级重复性和定位精度。而低摩擦侧密封保护其免受灰尘或颗粒污染,保证其长时间正常运行,延长维护周期。 SMH225LM系列为客户提供线缆管理选项,低摩擦侧封使日常维护更简易。


SMH225LM系列直线运动平台是精密机械中的关键部件之一,主要应用于OLED切割、PCB钻孔、数控加工、生物技术、IC封装设备、表面形貌测量等领域,为客户提供一个兼具精密定位、高速度和大负载的精密运动平台。


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产品特点

硬核实力铸就卓越表现
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直驱电机高精度定位平台

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高性价比解决方案

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坚固的机械结构

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灵活的配置选项(不同行程、台面和反馈)

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行程范围100mm到800mm

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最大速度可达2000mm/s,最大加速度可达2g

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可选单侧或双侧线缆管理

参数规格

全方位地了解产品信息
平台型号\ModelSMH225LM-100SMH225LM-200SMH225LM-300SMH225LM-400
有效行程\Travel100 mm200 mm300 mm400 mm
绝对定位精度\Accuracy±1 μm±1 μm±1 μm±1 μm
双向重复定位精度\Bi-Repeatability±0.3 μm±0.4 μm±0.4 μm±0.4 μm
俯仰\Pitch6 arc sec8 arc sec10 arc sec12 arc sec
偏摆\Yaw6 arc sec8 arc sec10 arc sec12 arc sec
直线度\Straightness±1.5 μm±2.5 μm±3.5 μm±4.5 μm
平面度\Flatness±1.5 μm±2.5 μm±3.5 μm±4.5 μm
平台重量\Stage Mass23.8 kg26.9 kg30.1 kg33.3 kg
最大负载\Load Capacity水平安装100 kg
侧向安装100 kg
分辨率\Resolution(1)1 nm
最小步进量\Minimum Incremental Motion (1)20 nm
在位稳定性\In Position Stability   (1)±10 nm
最大速度\Maximum Speed(2)2 m/s
最大加速度\Maximum Acceleration(2)2 g
持续推力\Continuous Force158 N
最大推力\Maximum Force1000 N
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours
平台型号\ModelSMH225LM-500SMH225LM-600SMH225LM-700SMH225LM-800
有效行程\Travel500 mm600 mm700 mm800 mm
绝对定位精度\Accuracy±1 μm±1 μm±1.5 μm±1.5 μm
双向重复定位精度\Bi-Repeatability±0.4 μm±0.4 μm±0.5 μm±0.5 μm
俯仰\Pitch14.5 arc sec16.5 arc sec17.5 arc sec18.5 arc sec
偏摆\Yaw14.5 arc sec16.5 arc sec17.5 arc sec18.5 arc sec
直线度\Straightness±5.5 μm±6.5 μm±7.5 μm±8 μm
平面度\Flatness±5.5 μm±6.5 μm±7.5 μm±8 μm
平台重量\Stage Mass36.5 kg39.7 kg42.1 kg46.1 kg
最大负载\Load Capacity水平安装100 kg
侧向安装100 kg
分辨率\Resolution   (1)1 nm
最小步进量\Minimum Incremental Motion   (1)20 nm
在位稳定性\In Position Stability   (1)±10 nm
最大速度\Maximum Speed (2)2 m/s
最大加速度\Maximum Acceleration   (2)2 g
持续推力\Continuous Force158 N
最大推力\Maximum Force1000 N
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours

备注:

(1)适配-AS反馈,以及线性放大器;

(2)空载,需配置相应功率的放大器;

(3)默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;

(4)其他行程可定制。


选型配置

科学搭配,精准匹配所需
产品系列行程(mm)载物台反馈电缆管理
SMH225LM-100-TTM-AS-CMS0
-200-TTR-TTL010-CMS1
-300-TTKxx-TTL100-CMS2
-400


-500


-600


-700


-800



行程选项


-100100mm行程
-200200mm行程
-300300mm行程
-400400mm行程
-500500mm行程
-600600mm行程
-700700mm行程
-800800mm行程


载物台选项


-TTM载物台公制安装孔
-TTR载物台安装孔位,为指定转台设计
-TTKxx为客户定制载物台


反馈选项


-ASVPP 1伏正弦模拟量输入
-TTL01010nm分辨率数字量TTL信号输入
-TTL1000.1μm分辨率数字量TTL信号输入


电缆管理选项


-CMS0无电缆管理,仅留出电机反馈接头
-CMS1单侧托线板、单拖链
-CMS2双侧托线板、双拖链


产品尺寸

精细丈量,尺寸清晰一目了然
型号
BASIC MODEL
标称行程
NOMINAL TRAVEL
电子限位行程
ELEC LIMIT TRAVEL
机械限位行程
MECH LIMIT TRAVEL
AB
SMH225LM-100100102-108129436200350
SMH225LM-200200202-208229536200350
SMH225LM-300300302-308329636200500
SMH225LM-400400402-408429736200600
SMH225LM-500500502-508529836200600
SMH225LM-600600602-608629936200600
SMH225LM-700700702-7087291036200600
SMH225LM-800800802-80882911362006001000

备注:

(1)单位:mm;

(2)双侧拖链配置未显示。




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