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SurfaceZ系列
低高度直驱升降台
SurfaceZ是纳米级定位精度的垂直运动Z向平台，采用直线电机驱动及交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达200Hz以上。
SurfaceZ升降台是Surface系列运动平台的有效补充，可以与Surface-Theta或者Surface-350-350平面气浮组成多轴系统来满足客户应用。在一些高端半导体应用案例中，对整体运动系统有苛刻的精度和几何性能要求，Surface系列可以为这类应用提供整体解决方案。SurfaceZ平台侧向高度低，阿贝误差小且节省空间，内置气动平衡装置最大承载15kg负载，可以同时满足重负载，高精度和低侧面的要求。
SurfaceZ平台结构紧凑小巧，但是有较高的定位精度，配置线性放大器，带隔振实验室环境下，SurfaceZ平台的在位稳定性和最小步进量可以小于5nm，主要应用于半导体领域的光刻、检测和封装、外形轮廓测量、生物医疗领域的基因测序等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
高精度直驱升降台
高动态性能
（空载截止频率大于120Hz）
低侧向高度，适合空间紧凑应用场景
可内置气动平衡，最大负载15kg
可与Surface-Theta或者直线轴组成多轴系统
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±200nm
在位稳定性5nm
（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | Surface Z-005 | Surface Z-010 |
| 有效行程\Travel | 5 mm | 10mm |
| 定位精度\Accuracy | ±200 nm | ±300 nm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±100 nm | ±150 nm |
| 俯仰\Pitch | 15 arc sec | 20 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 15 arc sec | 20 arc sec |
| 直线度\Straightness（1） | ±1.5 µm | ±2 µm |
| 平台重量\Stage Mass | 4.5 kg | 5.5 kg |
| 最大负载\Load Capacity（2） | 8 kg | 8 kg |
| 分辨率\Resolution（3） | 1 nm | |
| 在位稳定性\In Position Stability （3） | 5 nm | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step（3） | 5 nm | |
| 最大速度\Maximum Speed（4） | 5 mm/s | |
| 最大加速度\Maximum Acceleration（4） | 0.7 g | |
| 持续推力\Continuous Force | 23 N | |
| 峰值推力\Peak Force | 170 N | |
| 平台材质\Material | 铝 | |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |
备注：
（1）平行或垂直于楔形块方向测量；
（2）沿轴线方向受力；不带气动平衡负载能力为8kg；
（3）适配-AS反馈，配置线性放大器；
（4）空载测试；
（5）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（6）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| Surface Z | -005 | -AS |
| -010 |
行程选项
| -005 | 5mm行程升降台 |
| -010 | 10mm行程升降台 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
Surface Z-005
Surface Z-010
备注：
（1）单位：mm。
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