SMH190SD系列
大负载、大行程丝杠驱动直线台
SMH190SD系列是可灵活配置的机械直线运动平台,它交流无刷伺服电机加滚珠丝杠驱动,最大速度可达300mm/s。SMH190SD系列平台可以作水平直线轴使用,也可以选择带断电自锁功能的刹车配置,作为Z轴平台与LM系列直线电机平台配合使用。SMH190SD系列平台有旋转编码器和直线光栅尺多种反馈配置供客户选择,选配旋转编码器分辨率小于0.5μm,光栅尺选项分辨率小于0.1μm。
SMH190SD系列高性能机械式直线导轨运动平台是精密机械中的关键部件之一,其主要特点是结构坚固,具备较强承载能力,一般选配抱闸选项作Z向调焦台使用。主要应用于OLED切割、PCB钻孔等激光加工领域的激光器或振镜调焦、表面形貌测量的纵向扫描、以及数控加工、生物技术、IC封装设备等领域。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
伺服电机滚珠丝杠驱动
高性价比解决方案
坚固的机械结构,灵活的配置选项
行程范围100mm到800mm
提供光栅尺和旋转编码器反馈选项
断电自锁抱闸功能
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | SMH190SD-100 | SMH190SD-150 | SMH190SD-200 | SMH190SD-250 | SMH190SD-300 | |
| 有效行程\Travel | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm | |
| 定位精度\Accuracy | 光栅尺 | ±0.6 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1.2 μm | ±1.2 μm |
| 旋转编码器 | ±1 μm | ±1 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | |
| 重复定位精度\Bi-Repeatability | 光栅尺 | ±0.25 μm | ±0.4 μm | ±0.4 μm | ±0.4 μm | ±0.5 μm |
| 旋转编码器 | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | |
| 俯仰\Pitch | 6 arc sec | 7 arc sec | 8 arc sec | 8 arc sec | 9 arc sec | |
| 横滚\Roll | 6 arc sec | 7 arc sec | 8 arc sec | 8 arc sec | 9 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 6 arc sec | 7 arc sec | 8 arc sec | 8 arc sec | 9 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±2 μm | ±2.5 μm | ±3 μm | ±3 μm | ±3.5 μm | |
| 平面度\Flatness | ±2 μm | ±2.5 μm | ±3 μm | ±3 μm | ±3.5 μm | |
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 11.2 kg | 12 kg | 12.8 kg | 13.7 kg | 14.6 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 水平 | 60 kg | ||||
| 竖直 | 40 kg | |||||
| 分辨率\Resolution | 光栅尺 | 1 nm, 10 nm, 0.1 μm | ||||
| 旋转编码器 | 0.5 μm | |||||
| 最小步进\Minimal Incremental Step | 100 nm(1),1 μm(2) | |||||
| 在位稳定性\In Position Stability | ±30 nm(1),±1 μm(2) | |||||
| 最大速度\Maximum Speed(3) | 300 mm/s | |||||
| 平台材质\Material | 铝 | |||||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |||||
| 平台型号\Model | SMH190SD-400 | SMH190SD-500 | SMH190SD-600 | SMH190SD-700 | SMH190SD-800 | |
| 有效行程\Travel | 400 mm | 500 mm | 600 mm | 700 mm | 800 mm | |
| 定位精度\Accuracy | 光栅尺 | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.75 μm | ±1.75 μm | ±1.75 μm |
| 旋转编码器 | ±1.5 μm | ±2 μm | ±2 μm | ±2.5 μm | ±2.5 μm | |
| 重复定位精度\Bi-Repeatability | 光栅尺 | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.75 μm |
| 旋转编码器 | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | |
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec | 12 arc sec | 15 arc sec | 16 arc sec | 18 arc sec | |
| 横滚\Roll | 10 arc sec | 12 arc sec | 15 arc sec | 16 arc sec | 18 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | 12 arc sec | 15 arc sec | 16 arc sec | 18 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±4.5 μm | ±5.5 μm | ±6.5 μm | ±7.5 μm | ±8.5 μm | |
| 平面度\Flatness | ±4.5 μm | ±5.5 μm | ±6.5 μm | ±7.5 μm | ±8.5 μm | |
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 16.3 kg | 18.1 kg | 19.9 kg | 22.5 kg | 24.6 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 水平 | 60 kg | ||||
| 竖直 | 40 kg | |||||
| 分辨率\Resolution | 光栅尺 | 1 nm, 10 nm, 0.1 μm | ||||
| 旋转编码器 | 0.5 μm | |||||
| 最小步进\Minimal Incremental Step | 100 nm(1),1 μm(2) | |||||
| 在位稳定性\In Position Stability | ±30 nm(1),±1μm(2) | |||||
| 最大速度\Maximum Speed(3) | 300 mm/s | |||||
| 平台材质\Material | 铝 | |||||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |||||
备注:
(1)适配-AS反馈;
(2)适配-2500线旋转编码器反馈;
(3)空载,需配置相应功率的放大器;
(4)默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
(5)其他行程可定制。
选型配置
科学搭配,精准匹配所需
| 产品系列 | 行程(mm) | 载物台 | 反馈 | 电缆管理 | 电机 |
| SMH190SD | -100 | -TTM | -AS | -CMS0 | -M200B |
| -150 | -TTR | -TTL010 | -CMS1 | -M200 | |
| -200 | -TTKxx | -TTL100 | -CMS2 | -M400 | |
| -250 | -RTTL2500 | -M400B | |||
| -300 | |||||
| -400 | |||||
| -500 | |||||
| -600 | |||||
| -700 | |||||
| -800 |
行程选项
| -100 | 100 mm 行程 |
| -150 | 150 mm 行程 |
| -200 | 200 mm 行程 |
| -250 | 250 mm 行程 |
| -300 | 300 mm 行程 |
| -400 | 400 mm 行程 |
| -500 | 500 mm 行程 |
| -600 | 600 mm 行程 |
| -700 | 700 mm 行程 |
| -800 | 800 mm 行程 |
载物台选项
| -TTM | 载物台公制安装孔 |
| -TTR | 载物台安装孔位,为指定转台设计 |
| -TTKxx | 为客户定制载物台 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL010 | 10nm分辨率数字量TTL反馈信号输入 |
| -TTL100 | 0.1μm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -RTTL2500 | 2500线旋转编码器 |
电缆管理选项
| -CMS0 | 无电缆管理,仅留出电机反馈接头 |
| -CMS1 | 单侧托线板、单拖链 |
| -CMS2 | 双侧托线板、双拖链 |
电机选项
| -M200B | 200W电机带抱闸 |
| -M200 | 200W电机 |
| -M400 | 400W电机 |
| -M400B | 400W电机带抱闸 |
产品尺寸
精细丈量,尺寸清晰一目了然
| 型号 BASIC MODEL | 标称行程 NOMINAL TRAVEL | A | B |
| SMH190SD-100 | 100 | 390 | 175250 |
| SMH190SD-150 | 150 | 440 | 175250 |
| SMH190SD-200 | 200 | 490 | 175275 |
| SMH190SD-250 | 250 | 540 | 175275 |
| SMH190SD-300 | 300 | 590 | 175375 |
| SMH190SD-400 | 400 | 690 | 175450 |
| SMH190SD-500 | 500 | 790 | 175450 |
| SMH190SD-600 | 600 | 890 | 175575 |
| SMH190SD-700 | 700 | 990 | 175575 |
| SMH190SD-800 | 800 | 1090 | 175575975 |


备注:
(1)单位:mm;
(2)双侧拖链配置未显示。
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