LPAR系列
重载大中空机械直驱转台
LPAR系列是大中空尺寸、高精度360度连续转台,采用旋转电机直驱控制,具备非常优秀的动态性能和定位精度,相比常规蜗轮蜗杆转台,它速度快,无齿轮间隙,有更好的定位精度和重复定位精度。LPAR系列转台采用杰出的工业化设计,选用薄壁轴承,有利于减小转动摩擦和节省空间。选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度±3角秒,重复性小于±1.5角秒,最大水平负载可达70kg,机械性能非常突出。
LPAR系列采用大直径圆形轴承设计,系统刚性强,重复性好,重负载使用条件小也不会损失性能。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,LPAR系列转台的在位稳定性和最小步进量小于0.05角秒。
LPAR系列转台具备灵活的配置选项,客户可选择模拟量反馈或者数字量反馈。针对半导体客户的应用要求,LPAR系列转台可以提供了旋转单元和气管选项,有效地解决了360°连续旋转绕线问题,也可加配限位限制行程。由于LPAR系列转台具备大中空、侧向高度低、定位精度和重复性好、负载能力强的特点,它被广泛使用在半导体检测和封装等场合。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
高精密360度连续旋转直驱转台
结构紧凑,大中空低侧向高度,中空直径可达400mm
重负载高精度转台
可选数字量或模拟量高精度圆光栅位置反馈
无刷无齿槽伺服电机直驱,转速超过150rpm
0.05角秒最小步进(实验室环境,配置线性放大器),±1.5角秒重复性
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | LPAR | ||
| 转台行程\Travel Range | 360° | ||
| 中空直径 \Aperture Diameter | 250mm | 400mm | |
| 转角精度 \Accuracy (1) | ±3 arc sec | ||
| 最小步进\Minimal Incremental Step (1) | 0.05 arc sec | ||
| 重复性 \Repeatability (1) | ±1.5 arc sec | ||
| 摆角\Tilt Error | 10 arc sec | ||
| 轴跳 \Axial Error Motion | 5 μm | ||
| 端跳 \Radial Error Motion | 5 μm | ||
| 平台重量\Stage Mass | 30kg | 50kg | |
| 最大负载\Max Load | 轴向 \Axial | 50 kg | 70kg |
| 径向 \Radial | 20 kg | 30kg | |
| 最高空载速度\ Maximum Speed (2) | 150rpm (900°/s) | ||
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
备注:
(1)适配-AS圆光栅反馈;
(2)空载指标,最高速度取决于反馈分辨率、实际负载、驱动器。
(3)默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关。
选型配置
科学搭配,精准匹配所需
| 产品系列 | 反馈 | 中空直径 |
| LPAR | -AS | -250 |
| -TTL50 | -400 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL50 | TTL 50倍细分 |
中空直径选项
| -250 | 中空直径250mm |
| -400 | 中空直径400mm |
备注:
其他中空直径可定制。
产品尺寸
精细丈量,尺寸清晰一目了然
LPAR250

LPAR400

备注:
(1)单位:mm。
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