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SMH225SD系列

大负载、大行程丝杠驱动直线台

SMH225SD系列是可灵活配置的机械直线运动平台,采用交流无刷伺服电机加滚珠丝杠驱动,最大速度可达300mm/s。SMH225SD系列平台可以作水平直线轴使用,也可以选择带断电自锁功能的抱闸配置,作为Z轴平台与LM系列直线电机平台配合使用。SMH225SD系列平台有旋转编码器和直线光栅尺多种反馈配置供客户选择,选配旋转编码器分辨率小于0.5μm,光栅尺选项分辨率小于0.1μm。


SMH225SD系列高性能机械式直线导轨运动平台是精密机械中的关键部件之一,其主要特点是结构坚固,具备较强承载能力,一般选配抱闸选项作Z向调焦台使用。主要应用于OLED切割、PCB钻孔等激光加工领域的激光器或振镜调焦、表面形貌测量的纵向扫描、以及数控加工、生物技术、IC封装设备等领域。

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产品特点 参数规格 选型配置 产品尺寸

产品特点

硬核实力铸就卓越表现
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伺服电机滚珠丝杠驱动

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高性价比解决方案

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坚固的机械结构

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灵活的配置选项

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行程范围100mm到800mm

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提供光栅尺和旋转编码器反馈选项

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断电自锁抱闸功能

参数规格

全方位地了解产品信息
平台型号\ModelSMH225SD-100SMH225SD-150SMH225SD-200SMH225SD-250SMH225SD-300
有效行程\Travel100mm150mm200mm250mm300mm
定位精度\Accuracy光栅尺±0.6 μm±1 μm±1 μm±1.2 μm±1.2 μm
旋转编码器±1 μm±1 μm±1.5 μm±1.5 μm±1.5 μm
重复定位精度\Bi-Repeatability光栅尺±0.25 μm±0.4 μm±0.4 μm±0.4 μm±0.5 μm
旋转编码器±1 μm±1 μm±1 μm±1.5 μm±1.5 μm
俯仰\Pitch6 arc sec7 arc sec8 arc sec8 arc sec9 arc sec
横滚\Roll6 arc sec7 arc sec8 arc sec8 arc sec9 arc sec
偏摆\Yaw6 arc sec7 arc sec8 arc sec8 arc sec9 arc sec
直线度\Straightness±2 µm±2.5 µm±3 µm±3 µm±3.5 µm
平面度\Flatness±2 µm±2.5 µm±3 µm±3 µm±3.5 µm
平台重量\Stage Mass(No Motor)20.5 kg21.7kg22.9 kg24.2 kg25.4kg
最大负载\Load Capacity水平100kg
竖直60kg
分辨率\Resolution光栅尺1nm,10nm,0.1 µm
旋转编码器0.5 um
最小步进\Minimal Incremental Step100 nm   (1),1μm   (2)
在位稳定性\In Position Stability±30 nm   (1),±1μm   (2)
最大速度\Maximum Speed   (3)300mm/s
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours
平台型号\ModelSMH225SD-400SMH225SD-500SMH225SD-600SMH225SD-700SMH225SD-800
有效行程\Travel400mm500mm600mm700mm800mm
定位精度\Accuracy光栅尺±1.5 μm±1.5 μm±1.75 μm±1.75 μm±1.75 μm
旋转编码器±1.5 μm±2 μm±2 μm±2.5 μm±2.5 μm
重复定位精度\Bi-Repeatability光栅尺±0.5 μm±0.5 μm±0.5 μm±0.75 μm±0.75 μm
旋转编码器±1.5 μm±1.5 μm±1.5 μm±1.5 μm±1.5 μm
俯仰\Pitch10 arc sec12 arc sec15 arc sec16 arc sec18 arc sec
横滚\Roll10 arc sec12 arc sec15 arc sec16 arc sec18 arc sec
偏摆\Yaw10 arc sec12 arc sec15 arc sec16 arc sec18 arc sec
直线度\Straightness±4.5 μm±5.5 μm±6.5 μm±7.5 μm±8.5 μm
平面度\Flatness±4.5 μm±5.5 μm±6.5 μm±7.5 μm±8.5 μm
平台重量\Stage Mass(No Motor)27.7 kg30.1kg31.2 kg34.8 kg35.9 kg
最大负载\Load Capacity水平使用100kg
竖直使用60kg
分辨率\Resolution光栅尺1nm,10nm,0.1 µm
旋转编码器0.5 um
最小步进\Minimal Incremental Step100 nm   (1),1μm   (2)
在位稳定性\In Position Stability±30 nm   (1),±1μm   (2)
最大速度\Maximum Speed (3)300mm/s
平台材质\Material
平均无故障时间\MTBF27,000 Hours

备注:

(1)适配-AS反馈;

(2)适配-2500线旋转编码器反馈;

(3)空载,需配置相应功率的放大器;

(4)默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;

(5)其他行程可定制。


选型配置

科学搭配,精准匹配所需
产品系列行程(mm)载物台反馈电缆管理电机
SMH225SD-100-TTM-AS-CMS0-M750B
-150-TTR-TTL010-CMS1-M750
-200-TTKxx-TTL100-CMS2
-250
-RTTL2500

-300



-400



-500



-600



-700



-800




行程选项


-100100 mm 行程
-150150 mm 行程
-200200 mm 行程
-250250 mm 行程
-300300 mm 行程
-400400 mm 行程
-500500 mm 行程
-600600 mm 行程
-700700 mm 行程
-800800 mm 行程


载物台选项


-TTM载物台公制安装孔
-TTR载物台安装孔位,为指定转台设计
-TTKxx为客户定制载物台


反馈选项


-ASVPP 1伏正弦模拟量输入
-TTL01010nm分辨率数字量TTL反馈信号输入
-TTL1000.1μm分辨率数字量TTL信号输入
-RTTL25002500线旋转编码器


电缆管理选项


-CMS0无电缆管理,仅留出电机反馈接头
-CMS1单侧托线板、单拖链
-CMS2双侧托线板、双拖链


电机选项


-M750B200W电机带抱闸
-M750200W电机


产品尺寸

精细丈量,尺寸清晰一目了然
型号
BASIC MODEL
标称行程
NOMINAL TRAVEL
AB
SMH225SD-100100436200350
SMH225SD-150150440200250
SMH225SD-200200536200350
SMH225SD-250250440200250
SMH225SD-300300636200500
SMH225SD-400400736200600
SMH225SD-500500836200600
SMH225SD-600600936200600
SMH225SD-7007001036200600
SMH225SD-80080011362006001000


  备注:

  (1)单位:mm;

  (2)双侧拖链配置未显示。



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