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SMH165LM系列
高性价比机械直驱直线台
SMH165LM系列运动平台采用直线电机驱动，直驱电机速度快、动态性能好、摩擦力小，易于实现精密位置控制，非常适合大行程，高速度和高精度应用。
SMH165LM系列运动平台使用高分辨率光栅，电子分辨率可达1nm，通过校准可使平台达到亚微米级重复性和定位精度。而低摩擦侧密封保护其免受灰尘或颗粒污染，保证其长时间正常运行，延长维护周期。 SMH165LM系列为客户提供线缆管理选项，低摩擦侧封使日常维护更简易。
SMH165LM系列直线运动平台是精密机械中的关键部件之一，它主要应用于OLED切割、PCB钻孔、数控加工、生物技术、IC封装设备、表面形貌测量等领域，为客户提供一个兼具精密定位、高速度和大负载的精密运动平台。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
直驱电机高精度定位平台
高性价比解决方案
坚固的机械结构
灵活的配置选项（不同行程、台面和反馈）
行程范围100mm到800mm
最大速度可达2000mm/s，最大加速度可达2g
可选单侧或双侧线缆管理
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | SMH165LM-100 | SMH165LM-200 | SMH165LM-300 | SMH165LM-400 | |
| 有效行程\Travel | 100 mm | 200 mm | 300 mm | 400 mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±1 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.4 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | |
| 俯仰\Pitch | 6 arc sec | 8 arc sec | 12 arc sec | 14.5 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 6 arc sec | 8 arc sec | 12 arc sec | 14.5 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±2.5 µm | ±4 µm | ±6 μm | ±8 μm | |
| 平面度\Flatness | ±2.5 µm | ±4 µm | ±6 μm | ±8 μm | |
| 平台重量\Stage Mass | 8.2 kg | 9.9 kg | 11.6 kg | 13.3 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 水平安装 | 45 kg | |||
| 侧向安装 | 45 kg | ||||
| 分辨率\Resolution （1） | 1 nm | ||||
| 最小步进\Minimal Incremental Step （1） | 20 nm | ||||
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | ±10 nm | ||||
| 最大速度\Maximum Speed （2） | 2 m/s | ||||
| 最大加速度\Maximum Acceleration（2） | 2 g | ||||
| 持续推力\Continuous Force | 81.8 N | ||||
| 峰值推力\Peak Force | 506.6 N | ||||
| 平台材质\Material | 铝 | ||||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||||
| 平台型号\Model | SMH165LM-500 | SMH165LM-600 | SMH165LM-700 | SMH165LM-800 | |
| 有效行程\Travel | 500 mm | 600 mm | 700 mm | 800 mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±2 μm | ±2 μm | ±2 μm | ±2 μm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | |
| 俯仰\Pitch | 16.5 arc sec | 18.5 arc sec | 19.5 arc sec | 20.5 arc sec | |
| 横滚\Roll | 16.5 arc sec | 18.5 arc sec | 19.5 arc sec | 20.5 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 16.5 arc sec | 18.5 arc sec | 19.5 arc sec | 20.5 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±9 μm | ±10 μm | ±11 μm | ±12 μm | |
| 平面度\Flatness | ±9 μm | ±10 μm | ±11 μm | ±12 μm | |
| 平台重量\Stage Mass | 14.9 kg | 16.6 kg | 18.4 kg | 20.5 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 水平安装 | 45 kg | |||
| 竖直安装 | 45 kg | ||||
| 分辨率\Resolution （1） | 1 nm | ||||
| 最小步进\Minimal Incremental Step (1) | 20 nm | ||||
| 在位稳定性\In Position Stability (1) | ±10 nm | ||||
| 最大速度\Maximum Speed (2) | 2 m/s | ||||
| 最大加速度\Maximum Acceleration (2) | 2 g | ||||
| 持续推力\Continuous Force | 81.8 N | ||||
| 峰值推力\Peak Force | 506.6 N | ||||
| 平台材质\Material | 铝 | ||||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||||
备注：
(1)适配-AS反馈，以及线性放大器；
(2)空载，需配置相应功率的放大器；
(3)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(4)其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 载物台 | 反馈 | 电缆管理 |
| SMH165LM | -100 | -TTM | -AS | -CMS0 |
| -200 | -TTR | -TTL010 | -CMS1 | |
| -300 | -TTKxx | -TTL100 | -CMS2 | |
| -400 | ||||
| -500 | ||||
| -600 | ||||
| -700 | ||||
| -800 |
行程选项
| -100 | 100mm行程 |
| -200 | 200mm行程 |
| -300 | 300mm行程 |
| -400 | 400mm行程 |
| -500 | 500mm行程 |
| -600 | 600mm行程 |
| -700 | 700mm行程 |
| -800 | 800mm行程 |
载物台选项
| -TTM | 载物台公制安装孔 |
| -TTR | 载物台安装孔位，为指定转台设计 |
| -TTKxx | 为客户定制载物台 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL010 | 10nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL100 | 0.1μm分辨率数字量TTL信号输入 |
电缆管理选项
| -CMS0 | 无电缆管理，仅留出电机反馈接头 |
| -CMS1 | 单侧托线板、单拖链 |
| -CMS2 | 双侧托线板、双拖链 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
| 型号 BASIC MODEL | 标称行程 NOMINAL TRAVEL | 电子限位行程 ELEC LIMIT TRAVEL | 机械限位行程 MECH LIMIT TRAVEL | A | B |
| SMH165LM-100 | 100 | 102-108 | 116 | 330 | 150250 |
| SMH165LM-200 | 200 | 202-208 | 216 | 430 | 150350 |
| SMH165LM-300 | 300 | 302-308 | 316 | 530 | 150350 |
| SMH165LM-400 | 400 | 402-408 | 416 | 630 | 150350550 |
| SMH165LM-500 | 500 | 502-508 | 516 | 730 | 150350550 |
| SMH165LM-600 | 600 | 602-608 | 616 | 830 | 150350550750 |
| SMH165LM-700 | 700 | 702-708 | 716 | 930 | 150350550750 |
| SMH165LM-800 | 800 | 802-808 | 816 | 1030 | 150350550750950 |
备注：
(1)单位：mm；
(2)双侧拖链配置未显示。
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