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ASML系列
气浮转台，低高度扁平化设计
ASML是高精度气浮直驱转台，采用旋转电机直接驱动，具备非常优秀的动态性能和定位精度。除了市场领先的轴向、径向和倾斜误差运动性能外，ASML气浮转台还提供卓越的旋转绝对定位精度、重复性和负载能力，很容易集成到多轴运动系统中。
ASML转台采用杰出的工业化设计，转动台面尺寸从150mm到300mm不等，厚度轻薄的设计下仍能保证高性能，选用高精度圆光栅位置反馈，定位精度小于1角秒，轴向和径向跳动小于250nm。ASML转台采用地心科技自主研发的圆形直驱电机，尺寸灵活设计。配置线性放大器，在带隔振实验室环境下，ASML转台的在位稳定性和最小步进量小于0.5角秒。主要应用在测量检测、生物样片加工及观测、同步加速研究、精密制造、光学对准和系统校准等需要角秒级定位精度的工业领域与科研项目。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
无槽，无刷伺服直驱电机驱动
优化设计，最大限度地减少轴向、径向和倾斜误差运动
具有出色的定位性能、速度稳定性和高分辨率反馈
非接触式气浮轴承，有助于超精确运动性能
低高度扁平化设计
小于250nm轴向和径向跳动
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ASML150 | ASML200 | ASML250 | ASML300 |
| 载物台直径\ Tabletop Diameter | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
| 高度\Stage Height | 85 mm | 90 mm | 105 mm | 140 mm |
| 中空尺寸\Aperture | 8 mm | 20 mm | 35 mm | 75 mm |
| 转角精度\Accuracy | ±3 arc sec | ±2 arc sec | ||
| 重复性\ Repeatability | ±1 arc sec | ±0.5 arc sec | ||
| 轴跳\Axial Error Motion | 300 nm | 250 nm | ||
| 径跳\Radial Error Motion | 400 nm | 300 nm | ||
| 最小步进量\Minimum Incremental step（1） | 0.5 arc sec | |||
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | 0.5 arc sec | |||
| 持续扭矩\Continuous Torque | 0.7 N.m | 0.7 N.m | 3 N.m | 3 N.m |
| 峰值扭矩\Maximum Torque | 3 N.m | 3 N.m | 10 N.m | 10 N.m |
| 轴向最大负载\Axial Max Load | 50 kg | 100 kg | 150 kg | 200 kg |
| 最高转速\ Maximum Speed（2） | 400 rpm | 500 rpm | ||
| 转台重量\ Stage Mass | 5.0 kg | 9.8 kg | 16.2 kg | 25.0 kg |
| 供气要求\ Aire Requirement（4）（5） | 80psi±5psi，加小于0.25μm空气过滤器 | |||
| 平台材质\Material | 铝 | |||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |||
备注：
(1) 适配-AS反馈，配置线性放大器；
(2) 空载，需配置相应功率的放大器；
(3) 默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(4) 气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
(5) 为了防止空气轴承气压不足，建议安装气压开关，信号输入到运动控制器连接急停（E-STOP）端口。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 台面直径 | 反馈 |
| ASML | -150 | -AS |
| -200 | -TTL50 | |
| -250 | ||
| -300 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL50 | TTL 50倍细分 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
备注：
(1)单位：mm；
(2)旋转单元（RU）未显示。
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