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ART130V-5系列
高精度直驱升降台
ART130V-5是纳米级定位精度托举运动升降平台，采用直线电机驱动及交叉滚珠导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达150Hz以上。
ART130V-5系列升降台是ART130系列水平运动平台的有效补充，可以与ART130或者ART130XY组成不同的多轴配置来满足客户应用。在一些需要快速聚焦的应用中，ART130V-5的出色动态性能使其足以满足严苛的技术要求。例如，在基因测序应用中ART130V-5安装1.7kg负载步进1μm，步进整定到±50nm误差范围，能在15ms时间内完成包括加减速和整定在内的所有动作，快速准确地完成实时聚焦动作。
ART130V-5系列升降台在结构紧凑小巧的同时，具备强劲的驱动能力，最大速度可达75mm/s，空载加速度可达0.7g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART130V-5系列升降台的在位稳定性和最小步进量可以小于5nm，主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等场景，可以根据客户的应用场景提供灵活的定制方案。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
高精度直驱升降台
高动态性能
（空载截止频率大于150Hz）
交叉滚珠导轨
无需气缸配重
丰富的组合选项
（ART130系列XZ，XYZ）
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±200nm
在位稳定性5nm
（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ART130V-5 |
| 有效行程\Travel | 5 mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±200 nm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±100 nm |
| 单向重复定位精度\Uni-Repeatability | ±45 nm |
| 俯仰\Pitch | 20 arc sec |
| 横滚\Roll | 10 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec |
| 直线度\Straightness （1） | ±1.0 µm |
| 平台重量\Stage Mass | 3 kg |
| 最大负载\Load Capacity（2） | 3 kg |
| 分辨率\Resolution | 1 nm |
| 最小步进量\Minimum Incremental step（3） | 5 nm |
| 在位稳定性\In Position Stability （3） | 5 nm |
| 最大速度\Maximum Speed（4） | 75 mm/s |
| 最大加速度\Maximum Acceleration （4） | 0.7 g |
| 持续推力\Continuous Force | 100 N |
| 平台材质\Material | 铝 |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours |
备注：
（1）平行或垂直于楔形块方向测量；
（2）沿轴线方向受力；
（3）适配-AS反馈，配置线性放大器；
（4）空载测试；
（5）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| ART130V-5 | -5 | -AS |
行程选项
| -5 | 5mm行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
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