SMH280LM系列
高性价比机械直驱直线台
SMH280LM系列运动平台采用直线电机驱动,直驱电机特点主要有速度快、动态性能好、摩擦力小,易于实现精密位置控制,非常适合大行程、高速度和高精度应用。
SMH280LM系列运动平台使用高分辨率光栅,电子分辨率可达1nm,通过校准可使平台达到亚微米级重复性和定位精度。而低摩擦侧密封保护其免受灰尘或颗粒污染,保证其长时间正常运行,延长维护周期。 SMH280LM系列为客户提供线缆管理选项,低摩擦侧封使日常维护更简易。
SMH280LM系列直线运动平台是精密机械中的关键部件之一,主要应用于OLED切割、PCB钻孔、数控加工、生物技术、IC封装设备、表面形貌测量等领域,为客户提供一个兼具精密定位、高速度和大负载的精密运动平台。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
直驱电机高精度定位平台
高性价比解决方案
坚固的机械结构
灵活的配置选项(不同行程、台面和反馈)
行程范围300mm到800mm
最大速度可达2000mm/s,最大加速度可达3g
可选单侧或双侧线缆管理
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | SMH280LM-300 | SMH280LM-400 | SMH280LM-500 | |
| 有效行程\Travel | 300mm | 400mm | 500mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.4 μm | ±0.4 μm | ±0.4 μm | |
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec | 12.5 arc sec | 14.5 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | 12.5 arc sec | 14.5 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±3 μm | ±4 μm | ±5 μm | |
| 平面度\Flatness | ±3 μm | ±4 μm | ±5 μm | |
| 平台重量\Stage Mass | 54 kg | 60 kg | 65 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 水平安装 | 150kg | ||
| 侧向安装 | 150kg | |||
| 分辨率\Resolution (1) | 1nm | |||
| 最小步进量\Minimum Incremental Motion (1) | 20nm | |||
| 在位稳定性\In Position Stability (1) | ±10nm | |||
| 最大速度\Maximum Speed (2) | 2m/s | |||
| 最大加速度\Maximum Acceleration (2) | 3g | |||
| 持续推力\Continuous Force | 332N | |||
| 峰值推力\Peak Force | 2240N | |||
| 平台材质\Material | 铝 | |||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |||
| 平台型号\Model | SMH280LM-600 | SMH280LM-700 | SMH280LM-800 |
| 有效行程\Travel | 600mm | 700mm | 800mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±1 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.4 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm |
| 俯仰\Pitch | 16 arc sec | 17 arc sec | 18.5 arc sec |
| 偏摆\Yaw | 16 arc sec | 17 arc sec | 18.5 arc sec |
| 直线度\Straightness | ±6 μm | ±6.5 μm | ±7 μm |
| 平面度\Flatness | ±6 μm | ±6.5 μm | ±7 μm |
| 平台重量\Stage Mass | 71.5 kg | 77kg | 83 kg |
| 最大负载\Load Capacity | 150kg | ||
| 分辨率\Resolution (1) | 1nm | ||
| 最小步进量\Minimum Incremental Motion (1) | 20nm | ||
| 在位稳定性\In Position Stability (1) | ±10nm | ||
| 最大速度\Maximum Speed (2) | 2m/s | ||
| 最大加速度\Maximum Acceleration (2) | 3g | ||
| 持续推力\Continuous Force | 332N | ||
| 峰值推力\Peak Force | 2240N | ||
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
备注:
(1)适配-AS反馈,以及线性放大器;
(2)空载,需配置相应功率的放大器;
(3)默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
(4)其他行程可定制。
选型配置
科学搭配,精准匹配所需
| 产品系列 | 行程(mm) | 载物台 | 反馈 | 电缆管理 |
| SMH280LM | -300 | -TTM | -AS | -CMS0 |
| -400 | -TTR | -TTL010 | -CMS1 | |
| -500 | -TTKxx | -TTL100 | -CMS2 | |
| -600 | ||||
| -700 | ||||
| -800 |
行程选项
| -300 | 300mm行程 |
| -400 | 400mm行程 |
| -500 | 500mm行程 |
| -600 | 600mm行程 |
| -700 | 700mm行程 |
| -800 | 800mm行程 |
载物台选项
| -TTM | 载物台公制安装孔 |
| -TTR | 载物台安装孔位,为指定转台设计 |
| -TTKxx | 为客户定制载物台 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL010 | 10nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL100 | 0.1μm分辨率数字量TTL信号输入 |
电缆管理选项
| -CMS0 | 无电缆管理,仅留出电机反馈接头 |
| -CMS1 | 单侧托线板、单拖链 |
| -CMS2 | 双侧托线板、双拖链 |
产品尺寸
精细丈量,尺寸清晰一目了然
| 型号 BASIC MODEL | 标称行程 NOMINAL TRAVEL | 电子限位行程 ELEC LIMIT TRAVEL | 机械限位行程 MECH LIMIT TRAVEL | A | B |
| SMH280LM-300 | 300 | 300-304 | 310 | 651 | 250550 |
| SMH280LM-400 | 400 | 400-404 | 410 | 751 | 250500 |
| SMH280LM-500 | 500 | 500-504 | 510 | 851 | 250500750 |
| SMH280LM-600 | 600 | 600-604 | 610 | 951 | 250600850 |
| SMH280LM-700 | 700 | 700-704 | 710 | 1051 | 250600850 |
| SMH280LM-800 | 800 | 800-804 | 810 | 1151 | 250600850 |

备注:
(1)单位:mm;
(2)双侧拖链配置未显示。
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