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MINI-X1-Y1-Z1系列
六轴光纤耦合平台
MINI-X1-Y1-Z1系列六轴高精密运动台专业针对光纤耦合环节设计，创新性地在ART130系列大行程运动台（XYZ轴行程可按客户需求定制）的基础上，集成了三轴微型精密调整机构，实现“大范围粗调+纳米级精调”一体化操作，各轴重复定位精度均可达到±100nm以内。产品适应绝大多数光通讯模块的应用，具有精度高、稳定性高、性价比高的产业化集成优势。
与以往压电微型台调整方案不同，我们还是使用自研直线电机和交叉滚柱导轨，MINI轴的微动行程可以做到±1mm，运动整定时间可以达到200μm@±50nm@30ms。超高的精度与小巧的体积，更为轻便的重量与更广泛的行程，使其更适合需要频繁、快速、大范围来回运动的耦合场景。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
采用自研直线电机及交叉滚柱导轨，高动态性能
刚性负载能力强，长期运动无磨损漂移问题
体积小巧紧凑，结构控制简单，支持快速部署与调试
抗干扰能力强，更适用于复杂应用场景
高整定速度，更适合需要频繁、快速、大范围来回运动的耦合场景
显著的综合成本优势，为光模块厂商提供更具性价比的解决方案
参数规格
全方位地了解产品信息
| 轴名称 | X | Y | Z | MINI-X | MINI-Y | MINI-Z |
| 行程 | 60mm | 60mm | 35mm | 1mm | 1mm | 1mm |
| 电子分辨率 | 5nm | |||||
| 定位精度 | ±250nm | ±250nm | ±250nm | ±200nm | ±200nm | ±200nm |
| 重复定位精度 | ±100nm | ±100nm | ±100nm | ±100nm | ±100nm | ±100nm |
| 直线度 | ±1.5μm | ±1.5μm | ±2μm | N/A | N/A | N/A |
| 平面度 | ±1.5μm | ±1.5μm | ±2μm | N/A | N/A | N/A |
| Pitch | 10arcsec | 10arcsec | 10arcsec | N/A | N/A | N/A |
| Yaw | 10arcsec | 10arcsec | 10arcsec | N/A | N/A | N/A |
| 最小步进 | 50nm | |||||
| 定位稳定性 | ±50nm | ±50nm | ±50nm | ±50nm | ±50nm | ±50nm |
| 运动整定时间 | / | 200μm @±50nm@30ms | 200μm @±50nm@30ms | 200μm @±50nm@30ms | ||
| mini轴负载重量 | 500g | |||||
| 最大速度 | 500mm/s | 500mm/s | 500mm/s | 50mm/s | 50mm/s | 50mm/s |
| 平台重量 | 11kg | |||||
| 平台材质 | 铝 | |||||
| 平均无故障时间 | 27,000 Hours | |||||
备注：
(1) 适配-AS反馈，线性放大器;
(2) 空载，需配置相应功率的放大器；
(3) 默认测试点位置为台面上方25mm；
(4) 其余行程可定制。
MINI轴参数
| 轴名称 | MINI-X | MINI-Y | MINI-Z |
| 行程 | 1mm | 1mm | 1mm |
| 电子分辨率 | 5nm | ||
| 定位精度 | ±200nm | ±200nm | ±200nm |
| 重复定位精度 | ±100nm | ±100nm | ±100nm |
| 最小步进 | 50nm | ||
| 定位稳定性 | ±50nm | ±50nm | ±50nm |
| 运动整定时间 | 200μm@±50nm@30ms | 200μm@±50nm@30ms | 200μm@±50nm@30ms |
| 负载重量 | 500g | ||
| 最大速度 | 20mm/s | 20mm/s | 20mm/s |
| 持续推力 | 8.4N | ||
| 峰值推力 | 66.5N | ||
| 平台重量 | 1.3kg | ||
| 平台材质 | 铝 | ||
| 平均无故障时间 | 27,000 Hours | ||
备注：
(1) 适配-AS反馈，线性放大器;
(2) 空载，需配置相应功率的放大器；
(3) 默认测试点位置为台面上方25mm。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 轴名称 | 行程 | 反馈 |
| MINI-X1-Y1-Z1 | MINI-X | -001 | -AS |
| MINI-Y | |||
| MINI-Z |
行程选项
| -001 | 1mm行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
MINI轴尺寸图
备注：
（1）单位：mm。
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