.png)
.png)
ZTT-V2系列
三轴一体式调平台，多用于晶圆检测/光学台面调整/高倍显微镜载台
ZTT-V2是垂直升降与水平调平三轴一体式精密定位平台，利用直线电机驱动，采用精密球形铰链耦合，具备非常优秀的微动精度和动态性能。整体高度小，尺寸精巧，刚性高，负载能力可达10kg，兼容洁净室环境使用。
ZTT-V2在具备点到点静态定位精度的同时，还具备非常突出的动态精度，可以适应对微动和动态跟随误差要求严格的晶圆检测、光学对准、面板检测或者无掩膜光刻等应用，根据传感器聚焦高度实时调整高度和角度姿态，全方位解决客户的运动控制难题。
手册下载
获取报价
产品特点
硬核实力铸就卓越表现
升降(Z)和调平（Tip-tilt）一体平台
采用球形铰链结构，多轴联动控制
结构紧凑，侧面高度低
Z向微动步距20nm，Tip-tilt微动步距0.05 arc sec
采用直线电机驱动，具备较好的动态性能
参数规格
全方位地了解产品信息
| 轴名称 | Z | θx | θy |
| 有效行程\Travel | 5mm | 2° | 2° |
| 定位精度\Accuracy | ±0.3 μm | NA | NA |
| 重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.1 μm | ±0.1 arcsec | ±0.1 arcsec |
| 最大速度\Maximum Speed（1） | 20 mm/s | NA | NA |
| 最大加速度\Maximum Acceleration（1） | 1 g | NA | NA |
| 最小步进量\Minimum Incremental step（2） | 20nm | 0.05 arcsec | 0.05arcsec |
| 最大负载\Load Capacity | 10 kg | ||
| 平台重量\Stage Mass | 8 kg | ||
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
备注：
(1) 空载，需配置相应功率的放大器；
(2) 默认测试点位置为台面上方25 mm。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 台面大小 | 反馈 |
| ZTT-V2 | -200 | -AS |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
相关产品
需要工程师帮助选型或者获取报价?
联系我们，打造你的定制化精密运动解决方案
即刻留言
提交表单