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LAB165S系列
高刚性气浮直驱直线台
LAB165S是纳米级定位精度的气浮平台，采用直线电机驱动，利用空气弹性势能作为支撑导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率最大可达120Hz以上。LAB165S平台采用磁预载技术，利用空气导轨支撑滑块运动，同时利用磁场产生反向压力保证空气导轨的正常气隙。专业的设计铸就了LAB165S平台杰出的几何性能，在200mm行程内，其平面度和直线度小于±0.6μm，Pitch/Yaw/Roll摆角指标小于±2.5 arc sec，适用于半导体等对洁净程度要求较高或者对直线度和平面度要求比较高的应用。
LAB165S有较强的驱动能力，最大空载速度1000mm/s，空载加速度可达0.5g，主要应用于光学透镜检测、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
高动态性能(截止频率大于120Hz)
磁预载空气轴承，零摩擦气浮平台
为高性能扫描和检测应用量身设计
分辨率1nm，重复定位精度士0.1μm，定位精度士0.2 μm
行程最可达200 mm，带线缆管理选项
高精密零膨胀光栅反馈选项
非接触、零摩擦直驱气浮平台
气隙平均效应，直线度平面度可达士0.3μm/100mm
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | LAB165S-025 | LAB165S-050 | LAB165S-100 |
| 有效行程\Travel | 25 mm | 50 mm | 100 mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±0.15 μm | ±0.2 μm | ±0.2 μm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.075 μm | ±0.1 μm | ±0.1 μm |
| 俯仰\Pitch | ±0.75 arc sec | ±1 arc sec | ±1.5 arc sec |
| 偏摆\Yaw | ±0.75 arc sec | ±1 arc sec | ±1.5 arc sec |
| 直线度\Straightness | ±0.3 µm | ±0.3 µm | ±0.5 µm |
| 平面度\Flatness | ±0.3 µm | ±0.3 µm | ±0.5 µm |
| 平台重量\Stage Mass | 5.9 kg | 6.3 kg | 7 kg |
| 最大水平负载\Load Horizontal Capacity | 10 kg | ||
| 分辨率\Resolution （1） | 1 nm | ||
| 最小步进量\Minimum Incremental step （1） | 10 nm | ||
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | ±10 nm | ||
| 最大速度\Maximum Speed （2） | 1000 mm/s | ||
| 最大加速度\Maximum Acceleration（2） | 0.5 g | ||
| 持续推力\Continuous Force | 12 N | ||
| 峰值推力\Peak Force | 85 N | ||
| 工作气压\Operating Pressure （5） | 5.5 bar (建议干燥空气，滤水滤油，粉尘过滤到0.5μm以下) | ||
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
平台型号\Model | LAB165S-150 | LAB165S-200 |
| 有效行程\Travel | 150 mm | 200 mm |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±0.2 μm | ±0.3 μm |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.1 μm | ±0. 1 μm |
| 俯仰\Pitch | ±2 arc sec | ±2.5 arc sec |
| 偏摆\Yaw | ±2 arc sec | ±2.5 arc sec |
| 直线度\Straightness | ±0.5 µm | ±0.6 µm |
| 平面度\Flatness | ±0.5 µm | ±0.6 µm |
| 平台重量\Stage Mass | 7.7 kg | 10.5 kg |
| 最大水平负载\Load Horizontal Capacity | 10 kg | |
| 分辨率\Resolution （1） | 1 nm | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step （1） | 10 nm | |
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | ±10 nm | |
| 最大速度\Maximum Speed （2） | 1000 mm/s | |
| 最大加速度\Maximum Acceleration（2） | 0.5 g | |
| 持续推力\Continuous Force | 12 N | |
| 峰值推力\Peak Force | 85 N | |
| 工作气压\Operating Pressure （5） | 5.5 bar (建议干燥空气，滤水滤油，粉尘过滤到0.5μm以下) | |
| 平台材质\Material | 铝 | |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |
备注：
（1）适配-ASH反馈，配置线性放大器；
（2）空载，需配置相应功率的放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
（5）为了防止空气轴承气压不足，建议安装气压开关，信号输入到运动控制器连接急停（E-STOP）端口。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 | 电缆管理 |
| LAB165S | -25 | -AS | -CMS1 |
| -50 | -TTL100 | -CMS2 | |
| -100 | -TTL010 | ||
| -150 | -TTL005 | ||
| -200 | -ASH |
行程选项
| -25 | 25 mm 行程 |
| -50 | 50 mm 行程 |
| -100 | 100 mm 行程 |
| -150 | 150 mm 行程 |
| -200 | 200 mm 行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL100 | 0.1μm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL005 | 5nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
电缆管理选项
| -CMS1 | 单侧托线板、单拖链 |
| -CMS2 | 双侧托线板、双拖链 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
| STAGE MODEL | NORMAL TRAVEL | A | STAGE MASS(KG) |
| LAB165S-025 | 25 | 270 | 5.9 |
| LAB165S-050 | 50 | 295 | 6.3 |
| LAB165S-100 | 100 | 345 | 7 |
| LAB165S-150 | 150 | 395 | 7.7 |
| LAB165S-200 | 200 | 525 | 10.5 |
备注：
（1）单位：mm；
（2）拖链未显示。
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