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SMH165SD系列
大负载、大行程丝杠驱动直线台
SMH165SD系列是可灵活配置的机械直线运动平台，采用交流无刷伺服电机加滚珠丝杠驱动，最大速度可达300mm/s。SMH165SD系列平台可以作水平直线轴使用，也可以选择带断电自锁功能的抱闸配置，作为Z轴平台与LM系列直线电机平台配合使用。SMH165SD系列平台有旋转编码器和直线光栅尺多种反馈配置供客户选择，选配旋转编码器分辨率小于0.5μm，光栅尺选项分辨率小于0.1μm。
SMH165SD系列高性能机械式直线导轨运动平台是精密机械中的关键部件之一，其主要特点是结构坚固，具备较强承载能力，一般选配抱闸选项作Z向调焦台使用。主要应用于OLED切割、PCB钻孔等激光加工领域的激光器或振镜调焦、表面形貌测量的纵向扫描、以及数控加工、生物技术、IC封装设备等领域。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
伺服电机滚珠丝杠驱动
高性价比解决方案
坚固的机械结构，灵活的配置选项
行程范围50mm到500mm
提供光栅尺和旋转编码器反馈选项
断电抱闸自锁功能
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | SMH165SD-050 | SMH165SD-100 | SMH165SD-150 | SMH165SD-200 | |
| 有效行程\Travel | 50 mm | 100 mm | 150 mm | 200 mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | 光栅尺 | ±0.6 μm | ±0.6 μm | ±1.0 μm | ±1.0 μm |
| 旋转编码器 | ±1.0 μm | ±1.0 μm | ±1.0 μm | ±1.5 μm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | 光栅尺 | ±0.25 μm | ±0.25 μm | ±0.4 μm | ±0.4 μm |
| 旋转编码器 | ±0.8 μm | ±1.0 μm | ±1.0 μm | ±1.0 μm | |
| 俯仰\Pitch | 4 arc sec | 6 arc sec | 7 arc sec | 8 arc sec | |
| 横滚\Roll | 4 arc sec | 6 arc sec | 7 arc sec | 8 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 4 arc sec | 6 arc sec | 7 arc sec | 8 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±1.5 µm | ±2.0 µm | ±2.5 µm | ±3.0 µm | |
| 平面度\Flatness | ±1.5 µm | ±2.0 µm | ±2.5 µm | ±3.0 µm | |
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 6.2 kg | 6.7 kg | 7.3 kg | 7.8 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 水平 | 45 kg | |||
| 竖直 | 25 kg | ||||
| 分辨率\Resolution | 光栅尺 | 1 nm,10 nm,0.1 µm | |||
| 旋转编码器 | 0.5 µm | ||||
| 最小步进\Minimal Incremental Step | 100 nm （1），1 μm（2） | ||||
| 在位稳定性\In Position Stability | ±30 nm（1），±1 μm（2） | ||||
| 最大速度\Maximum Speed (3) | 300 mm/s | ||||
| 平台材质\Material | 铝 | ||||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||||
| 平台型号\Model | SMH165SD-250 | SMH165SD-300 | SMH165SD-400 | SMH165SD-500 | |
| 有效行程\Travel | 250 mm | 300 mm | 400 mm | 500 mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | 光栅尺 | ±1.2 μm | ±1.2 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm |
| 旋转编码器 | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±2.0 μm | |
| 双向重复定位精度\Bi-Repeatability | 光栅尺 | ±0.4 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm |
| 旋转编码器 | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | |
| 俯仰\Pitch | 8 arc sec | 9 arc sec | 10 arc sec | 12 arc sec | |
| 横滚\Roll | 8 arc sec | 9 arc sec | 10 arc sec | 12 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 8 arc sec | 9 arc sec | 10 arc sec | 12 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±3.0 µm | ±3.5µm | ±4.5 µm | ±5.5 µm | |
| 平面度\Flatness | ±3.0 µm | ±3.5 µm | ±4.5 µm | ±5.5 µm | |
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 8.3 kg | 8.9 kg | 9.9 kg | 11 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 水平 | 45 kg | |||
| 竖直 | 25 kg | ||||
| 分辨率\Resolution | 光栅尺 | 1 nm, 10 nm, 0.1 μm | |||
| 旋转编码器 | 0.5 μm | ||||
| 最小步进\Minimal Incremental Step | 100 nm （1），1 μm （2） | ||||
| 在位稳定性\In Position Stability | ±30 nm （1），±1 μm （2） | ||||
| 最大速度\Maximum Speed（3） | 300 mm/s | ||||
| 平台材质\Material | 铝 | ||||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||||
备注：
(1)适配-AS反馈；
(2)适配-2500线旋转编码器反馈；
(3)空载，需配置相应功率的放大器；
(4)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(5)其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 载物台 | 反馈 | 电缆管理 | 电机 |
| SMH165SD | -50 | -TTM | -AS | -CMS0 | -M200B |
| -100 | -TTR | -TTL010 | -CMS1 | -M200 | |
| -150 | -TTKxx | -TTL100 | -CMS2 | ||
| -200 | -RTTL2500 | ||||
| -250 | |||||
| -300 | |||||
| -400 | |||||
| -500 |
行程选项
| -50 | 50 mm行程 |
| -100 | 100 mm 行程 |
| -150 | 150 mm行程 |
| -200 | 200 mm 行程 |
| -250 | 250 mm 行程 |
| -300 | 300 mm 行程 |
| -400 | 400 mm行程 |
| -500 | 500 mm行程 |
载物台选项
| -TTM | 载物台公制安装孔 |
| -TTR | 载物台安装孔位，为指定转台设计 |
| -TTKxx | 为客户定制载物台 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL010 | 10nm分辨率数字量TTL反馈信号输入 |
| -TTL100 | 0.1μm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -RTTL2500 | 2500线旋转编码器 |
电缆管理选项
| -CMS0 | 无电缆管理，仅留出电机反馈接头 |
| -CMS1 | 单侧托线板、单拖链 |
| -CMS2 | 双侧托线板、双拖链 |
电机选项
| -M200B | 200W电机带抱闸 |
| -M200 | 200W电机 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
| 型号 BASIC MODEL | 标称行程 NOMINAL TRAVEL | A | B |
| SMH165SD-050 | 50 | 280 | 150 |
| SMH165SD-100 | 100 | 330 | 150 |
| SMH165SD-150 | 150 | 380 | 150 |
| SMH165SD-200 | 200 | 430 | 150350 |
| SMH165SD-250 | 250 | 480 | 150350 |
| SMH165SD-300 | 300 | 530 | 150350 |
| SMH165SD-400 | 400 | 630 | 150350550 |
| SMH165SD-500 | 500 | 730 | 150350550 |
备注：
(1)单位：mm；
(2)双侧拖链配置未显示。
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