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ART165系列
高精度机械直驱直线台
ART165系列是纳米级定位精度的运动平台，采用自研直线电机驱动及交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达100Hz以上。行程可以根据客户需求定制，可作为单轴运动平台使用，也可以与ART165V-5升降台或者RSML系列转台搭配使用，组成不同的多轴配置来满足客户应用。
ART165系列平台虽然结构紧凑但是有较强的驱动能力，最大速度可达500mm/s，空载加速度可达1g。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，ART165系列平台的在位稳定性3nm和最小步进量可以小于5nm。主要应用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的晶圆缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及激光微纳加工等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
精巧的结构设计保证了ART165系列平台出色的精度和动态性能，特别是在速度稳定性要求苛刻的应用中，它的优异性能得到了很好的体现。例如在扫描检测应用中，要求直线轴匀速20mm/s，运动距离130mm，ART165系列平台匀速段动态跟随误差＜±100nm，能出色地完成项目任务。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
纳米级的定位精度
高动态性能（截止频率大于100Hz）
交叉滚柱导轨
灵活的配置选项（不同行程和反馈）
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±250nm
在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ART165-110 | ART165-160 | ART165-210 | |
| 有效行程\Travel | 110 mm | 160 mm | 210 mm | |
| 绝对定位精度\Accuracy | ±300 nm | ±300 nm | ±300 nm | |
| 重复定位精度\Repeatability | ±100 nm | ±100 nm | ±150 nm | |
| 俯仰\Pitch | 10 arc sec | 12 arc sec | 12 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | 12 arc sec | 12 arc sec | |
| 直线度\Straightness | ±1.0 µm | ±1.5 µm | ±1.5 µm | |
| 平面度\Flatness | ±1.0 µm | ±1.5 µm | ±1.5 µm | |
| 平台重量\Stage Mass | 4.7 kg | 5.7 kg | 6.7 kg | |
| 最大负载\Load Capacity | 水平\Horizontal | 15 kg | ||
| 侧向\Side | 12 kg | |||
| 分辨率\Resolution（1） | 1 nm | |||
| 最小步进量\Minimum Incremental step（1） | 5 nm | |||
| 在位稳定性\In Position Stability （1） | 3 nm | |||
| 最大速度\Maximum Speed（2） | 500 mm/s | |||
| 最大加速度\Maximum Acceleration（2） | 1 g | |||
| 持续推力\Continuous Force | 41.2 N | |||
| 峰值推力\Peak Force | 243.7 N | |||
| 平台材质\Material | 铝 | |||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |||
备注：
（1）适配-ASH反馈，线性放大器；
（2）空载，需配置相应功率的放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 |
| ART165 | -110 | -AS |
| -160 | -ASH | |
| -210 | -TTL005 | |
| -TTL010 | ||
| -TTL020 |
行程选项
| -110 | 110 mm 行程 |
| -160 | 160 mm 行程 |
| -210 | 210 mm 行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
| 型号 BASIC MODEL | 标称行程 NOMINAL TRAVEL | A | B |
| ART165-110 | 110 | 245 | 155200 |
| ART165-160 | 160 | 295 | 155250 |
| ART165-210 | 210 | 345 | 155300 |
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
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