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PM系列
高速XY一体式运动平台
PM系列亚微米级定位精度的XY一体式精密定位平台，直线电机直驱控制于两轴一体式结构，使其具备非常优秀的性能和重复定位精度，双向重复精度小于±0.3μm。 PM系列平台采用杰出的工业化设计，动态性能和几何均非常出色，空载截止频率最大可达120Hz以上，全行程平面度和直线度小于±2μm，是一款兼顾重负载和高精度的XY平台。
PM系列平台结构精致，有较强的驱动能力，上下轴均采用大推力双电机驱动，上下轴空载最大速度均可达到2000mm/s，空载加速度可达2g，在高速运动过程中仍然可以保证很小的动态跟随误差。例如，PM系列平台加工要求在1.2秒内完成整段轨迹，利用scope采集动态跟随误差可以小于12μm。PM系列平台集高精度、重负载、低侧向高度等优点于一身，主要应用在高速激光加工、测量检测、表面粗糙度检测等需要亚微米级定位精度的工业领域和科研项目。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
XY一体式设计直驱平台
双电机驱动，动态性能出色
突出的几何性能和承载能力
结构紧凑，低侧面高度，阿贝误差小
XY行程范围350mm*250mm或360*360mm
重复定位精度±0.3μm，定位精度±1μm
多种反馈选项
（零膨胀光栅尺可选）
参数规格
全方位地了解产品信息
| 有效行程\Travel | 350mm*250mm | 360mm*360mm | |
| 定位精度\Accuracy | ± 0.75μm | ±0.75μm | |
| 重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.15 μm | ±0.15μm | |
| 俯仰\Pitch | 18 arc sec | ||
| 偏摆\Yaw | 10 arc sec | ||
| 直线度\Straightness | ±2 μm | ||
| 平面度\Flatness | ±2 μm | ||
| 正交性\Orthogonality | 15 arc sec | ||
| 最大速度\Maximum Speed（1） | 2000 mm/s | ||
| 最大加速度\Maximum Acceleration（1） | 2.0 g | ||
| 持续推力\Continuous Force | 上轴 | 224.2 N | |
| 下轴 | 317.2 N | ||
| 峰值推力\Peak Force | 上轴 | 1303 N | |
| 下轴 | 2023.4 N | ||
| 最大负载\Load Capacity | 45 kg | ||
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 80kg | 100kg | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step（2） | 20 nm | ||
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
备注：
（1）空载，需配置相应功率的放大器；
（2）适配-AS反馈，以及线性放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 反馈 | 线缆管理 |
| PM | 350-250 | -AS | -CMS0 |
| 360-360 | -ASH | -CMS1 | |
| -TTL005 | |||
| -TTL010 | |||
| -TTL020 | |||
| -TTL100 |
行程选项
| -350-250 | 上轴250mm，下轴350mm行程 |
| -360-360 | 上轴360mm，下轴360mm行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -ASH | 高精度VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL005 | 5 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL020 | 20 nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL100 | 0.1μm分辨率数字量TTL信号输入 |
电缆管理选项
| -CMS0 | 无电缆管理，仅留出电机反馈接口 |
| -CMS1 | 客户拖链预留一根直径4mm气管、两根直径4mm线缆 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
PM350-250
PM360-360
备注：
（1）单位：mm；
（2）CMS线缆管理未显示。
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