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Surface系列
高精度气浮龙门
Surface系列是地心科技高精度和高动态性能平面气浮平台，采用XY双气浮轴承正负压设计，空气环绕型预载，利用空气负压来平衡气浮导轨往上浮和下压预载力，保证气浮面的正常气隙。它的几何性能非常出色，俯仰和偏摆角度均小于2角秒。
双气浮轴承设计可以有效提升Surface系列气浮平台的负载能力和刚度，一阶自然响应频率可达330Hz以上，空载截止频率可达100Hz以上，使其在具备高速高效运动的同时，又能减少步进稳定时间。
Surface系列双驱轴与横梁轴均采用空气导轨的H桥式结构，零摩擦设计保证了出色的动态性能和效率，最大速度可达2m/s，最大加速度2g。Surface系列平台行程可以根据客户要求定制，还可与SurfaceZ、SurfaceTheta组合为X-Y-Z-Theta的多轴系统， 适用于不同尺寸的和工艺的晶圆检测应用。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
高动态性能
（截止频率>330Hz）
双驱轴、横梁轴均采用空气导轨的H型式结构
灵活的配置选项
（XY可定制行程）
XY平面式设计，低剖面阿贝误差小
最大速度2m/s，最大加速度2g
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度±250nm
选用高精密零膨胀系数光栅反馈，膨胀系数低，受温漂影响小
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | Surface350-350 | |
| 有效行程\Travel | 350mm * 350mm | |
| 定位精度\Accuracy（1） | ±250 nm | |
| 重复定位精度\Bi-Repeatability（1） | ±100 nm | |
| 俯仰\Pitch | 3 arc sec | |
| 横滚\Roll | 3 arc sec | |
| 偏摆\Yaw | 3 arc sec | |
| 持续推力\Continuous Force | 横梁轴 | 205.5 N |
| 双驱轴 | 252.2 N*2 | |
| 峰值推力\Peak Force | 横梁轴 | 1228.8 N |
| 双驱轴 | 1395 N*2 | |
| 正交性\Orthogonality | 2 arc sec | |
| 刚性-一阶自然频率（带载）\Stiffness, First Natural Frequency (Rated Payload) | 大于330Hz | |
| 直线度\Straightness | ±1.0 µm | |
| 平面度\Flatness | ±1.5 µm | |
| 最大负载\Load Capacity | 30 kg | |
| 分辨率\Resolution（1） | 1 nm | |
| 最大速度\Maximum Speed（2） | 2000 mm/s | |
| 最大加速度\Maximum Acceleration（2） | 2g | |
备注：
（1）适配-ASH反馈，配置线性放大器；
（2）空载，需配置相应功率的放大器，最大速度受限于反馈分辨率；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
（5）为了防止空气轴承气压不足，建议安装气压开关，信号输入到运动控制器连接急停（E-STOP）端口。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 行程（mm） | 光栅尺编码方式 |
| Surface | -350-350 | -AS |
| -350-500 | -TTL100 | |
| -400-500 | -TTL010 | |
| -500-650 | -TTL005 | |
| -ASH |
行程选项
| -700 | 双驱轴：350 mm 行程，横梁轴：350mm行程 |
| -850 | 双驱轴：350 mm 行程，横梁轴：500mm行程 |
| -900 | 双驱轴：400 mm 行程，横梁轴：500mm行程 |
| -1150 | 双驱轴：500 mm 行程，横梁轴：650mm行程 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL100 | 0.1μm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL010 | 10nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL005 | 5nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -ASH | 高精度零膨胀光栅尺，VPP 1伏正弦模拟量输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
备注：
（1）单位：mm；
（2）Surface Z\Surface -Theta未显示。
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