ASP系列
高速气浮转台,最大转速5000rpm
ASP是高精度气浮直驱转台,采用旋转电机直接驱动,具备非常优秀的动态性能和定位精度。除了市场领先的轴向、径向和倾斜误差运动性能外,ASP气浮转台还提供卓越的旋转绝对定位精度、重复性和负载能力,很容易集成到多轴运动系统中。ASP转台采用杰出的工业化设计,转动台面尺寸100和150mm,也可以用户需求定制其他尺寸的台面。选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度小于±1.5角秒,轴向和径向跳动小于250nm,机械性能非常突出。
ASP转台采用地心科技自主研发的圆形直驱电机,有较强的驱动能力和较大的扭矩,空载转速超过5000rpm。配置线性放大器,带隔振实验室环境下,ASP转台的在位稳定性和最小步进量小于0.5角秒。主要应用在测量检测、晶圆螺旋线检测、生物样片加工及观测、同步加速研究、精密制造、光学对准和系统校准等需要角秒级定位精度的工业领域与科研项目。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
优化设计,最大限度地减少轴向、径向和倾斜误差运动
具有出色的定位性能、速度稳定性和高分辨率反馈
非接触式气浮轴承,有助于超精确运动性能
最大转速5000rpm
亚角秒级别定位精度
小于250nm轴向和径向跳动
可根据应用需求增加旋转单元和气管
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | ASP100 | ASP150 | |
| 载物台直径\ Stage Diameter | 100 mm | 150 mm | |
| 转角精度\Accuracy | ±1.5 arc sec | ±1.5 arc sec | |
| 重复性\ Repeatability | ±0.75 arc sec | ±0.75 arc sec | |
| 轴跳\Axial Error Motion | 250 nm | 250 nm | |
| 径跳\Radial Error Motion | 250 nm | 250 nm | |
| 最小步进量\Minimum Incremental step(2) | 0.5 arcsec | 0.5 arcsec | |
| 在位稳定性\In Position Stability (2) | 0.5 arcsec | 0.5 arcsec | |
| 持续扭矩\Continuous Torque | 0.7 N.m | 3 N.m | |
| 峰值扭矩\Maximum Torque | 3 N.m | 10 N.m | |
| 平台重量\Stage Mass | 8 kg | 13 kg | |
| 最大负载\Max Load | 轴向\Axial | 6 kg | 10 kg |
| 径向\Radial | 3 kg | 5 kg | |
| 最高转速\ Maximum Speed(1) | 5000rpm | 5000rpm | |
| 耗气量\Air Consumption | 15 SLPM | 18 SLPM | |
| 供气要求\ Aire Requirement(4)(5) | 5.3bar±0.2bar,加小于0.25μm空气过滤器 | ||
| 平台材质\Material | 铝 | ||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | ||
备注:
(1) 适配-AS反馈,配置线性放大器;
(2) 空载,需配置相应功率的放大器;
(3) 默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
(4) 气缸供气需配置空滤三联件,必须清洁、干燥,过滤至0.25μm以下颗粒,建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
(5) 为了防止空气轴承气压不足,建议安装气压开关,信号输入到运动控制器连接急停(STO)端口。
选型配置
科学搭配,精准匹配所需
| 产品系列 | 台面直径 | 反馈 |
| ASP | -100 | -AS |
| -150 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
旋转单元选项
| -RU1 | 1路负压气管旋转单元 |
| -RU2 | 2路负压气管旋转单元 |
产品尺寸
精细丈量,尺寸清晰一目了然
ASP-100

ASP-150

备注:
(1)单位:mm。
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