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MicroL-Z系列
XYZ一体式平台，多用于生物组织结构观测及膜厚测量
MicroL-Z是亚微米级定位精度的XYZ一体式精密定位平台，采用三轴一体式结构，可以根据客户要求分离成大中空的XY轴和单独的Z轴。MicroL-Z利用直线电机直驱控制，XY轴采用直线电机驱动，无丝杠传动环节，因此有较好的动态性能，可以完成快速扫描和整定。Z轴具有良好的动态聚焦能力，可以在150ms内完成1μm步进，整定到±150nm。
MicroL-Z系列三轴平台采用大中空设计，最大中空尺寸达到150mm*100mm，适用于生物组织结构观测和膜厚测量等应用，XY轴完成“弓”字型折返扫描的同时，Z轴还可以根据应用需求完成调焦运动，保证精准的捕捉扫描图像。在某些相机景深较短的应用中，都能快速协同步进稳定和快速聚焦，可以大大提高效率和成像质量。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
采用直线电机直接驱动，无丝杠间隙
XY轴可以完成快速扫描和整定，Z轴具有较好的动态聚焦能力
3轴一体设计，低侧面高度，阿贝误差小
采用大中空设计，最大中空尺寸达到150mm*100mm
XY行程范围115mm*75mm，Z轴行程1.5mm或5mm
重复定位精度±0.5μm，定位精度±1.5μm
XYZ可作为3轴整体使用，也可以单独分离Z轴
参数规格
全方位地了解产品信息
| 轴号 | X | Y | Z | |
| 有效行程\Travel | 115mm | 75mm | 1.5mm | 5mm |
| 定位精度\Accuracy | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1 μm | |
| 重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | |
| 俯仰\Pitch | 20 arc sec | 20 arc sec | 10 arc sec | 20 arcsec |
| 偏摆\Yaw | 40 arc sec | 40 arc sec | 10 arc sec | 20 arcsec |
| 直线度\Straightness | ±4 μm | ±4 μm | ±2 μm | ±4 μm |
| 平面度\Flatness | ±4 μm | ±4 μm | ±2 μm | ±4 μm |
| 正交性\Orthogonality | 15 arc sec | NA | ||
| 最大速度\Maximum Speed（1） | 200 mm/s | 30 mm/s | ||
| 最大加速度\Maximum Acceleration（1） | 0.5 g | 0.5 g | 0.3 g | |
| 持续推力\Continuous Force | 21 N | 21 N | 21 N | |
| 峰值推力\Peak Force | 147 N | 147 N | 147 N | |
| 最大负载\Load Capacity | 3 kg | |||
| 平台重量\Stage Mass(No Motor) | 5kg | |||
| 最小步进量\Minimum Incremental step | 100 nm | |||
| 平台材质\Material | 铝 | |||
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |||
备注：
（1）空载测试；
（2）适配-AS反馈，配置线性放大器；
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
（4）其他行程可定制。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 轴名称 | 行程 | 反馈 |
| Micro | -L | -115-75 | -AS |
| -Z | -0015 | -TTL010 | |
| -005 | -TTL005 |
轴名称
| -L | XY轴 |
| -Z | Z轴 |
行程选项
| -115-75 | XY轴行程 115 mm*75 mm |
| -0015 | Z轴行程 1.5 mm |
| -005 | Z轴行程 5 mm |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL010 | 10nm分辨率数字量TTL信号输入 |
| -TTL005 | 5nm分辨率数字量TTL信号输入 |
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
MicroL-1.5Z
MicroL-5Z
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示。
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