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Surface-Theta系列
高精度直驱转台
Surface-Theta系列是高精度的360度连续转台，采用旋转电机直驱控制，具备非常优秀的动态性能和定位精度。Surface-Theta系列转台采用杰出的工业化设计，侧向高度低，适用于空间紧凑型应用。选用高精度圆光栅位置反馈，定位精度±2角秒，重复性小于±1角秒，最大水平负载可达30kg，最大侧向安装负载可达10kg，机械性能非常突出。
Surface-Theta系列采用大直径圆形轴承设计，系统刚性强、重复性好，重负载使用条件小也不会损失性能。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，Surface-Theta系列转台的在位稳定性和最小步进量小于0.05角秒。
Surface-Theta系列转台具备灵活的配置选项，客户可以选择模拟量反馈或者数字量反馈，针对半导体客户的应用要求，Surface-Theta系列为客户提供了旋转单元和气管选项，有效地解决了360°连续旋转绕线问题。由于Surface-Theta系列转台具备侧向高度低、定位精度和重复性好、带负载能力强的特点，它被广泛使用在半导体检测和封装等场合。
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产品特点
硬核实力铸就卓越表现
高精密360度连续旋转直驱转台
结构紧凑，低侧向高度
重负载高精度
(可水平或侧向安装使用)
可选数字量或模拟量高精度圆光栅位置反馈
无刷无齿槽伺服电机直驱，转速超过400rpm
0.05角秒最小步进（实验室环境，配置线性放大器），±1角秒重复性
丰富的配置选项，可选气管和旋转单元
参数规格
全方位地了解产品信息
| 平台型号\Model | Surface-Theta | |
| 转台行程 \Travel Range | 360° | |
| 载物台直径 \Tabletop Diameter | 143.5mm | |
| 转角精度 \Accuracy（1） | ±2 arc sec | |
| 最小步进 \Minimal Incremental Step（1） | 0.5 arc sec | |
| 重复性 \Repeatability（1） | ±1 arc sec | |
| 摆角 \Tilt Error | 20 arc sec | |
| 轴跳 \Axial Error Motion | 5 μm | |
| 径跳 \Radial Error Motion | 5 μm | |
| 平台重量\Stage Mass | 4kg | |
| 最大负载\Max Load | 轴向 \Axial | 30 kg |
| 径向 \Radial | 10 kg | |
| 最高空载速度 \ Maximum Speed（2） | 400rpm (2400°/s) | |
| 平台材质\Material | 铝 | |
| 平均无故障时间\MTBF | 27,000 Hours | |
备注：
（1）适配-AS圆光栅反馈；
（2）空载指标，最高速度取决于反馈分辨率、实际负载、驱动器。
（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关。
选型配置
科学搭配，精准匹配所需
| 产品系列 | 反馈 | 旋转单元 |
| Surface-Theta | -AS | -RU1 |
| -TTL50 |
反馈选项
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
| -TTL50 | TTL 50倍细分 |
旋转单元选项
| -RU1 | 一个旋转单元 |
备注：
其他旋转单元数量可定制（例如RU2、RU3）。
产品尺寸
精细丈量，尺寸清晰一目了然
备注：
（1）单位：mm。
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