光纤耦合
光纤耦合是光通信器件封装中的关键工序,需实现芯片与光纤之间的多自由度精密对准,以保障耦合效率与传输性能。地心科技MINI系列六轴平台在XYZ大行程基础上集成微型精密调整机构,实现“大范围粗调+纳米级精调”一体化操作,各轴重复定位精度均可达到±100nm以内,,可适应各类光通讯模块的耦合工艺需求。
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