# # EN
#
联系我们
# #
首页 行业方案 激光加工 激光直写及制版光刻

激光直写及制版光刻

激光直写及制版光刻

基于空间光调制器或扫描振镜的激光直写光刻系统，凭借其无需掩模、灵活可编程的图形化能力，在衍射光学元件、灰度光刻、微光学结构及制版光刻等领域实现了亚微米级精度的二维与准三维结构加工。该类技术对运动平台的定位精度、扫描平稳性及多轴协同性能提出严苛要求，尤其在大面积拼接曝光、纳米级自动对焦与角度对准等关键环节。

地心科技提供的CFT-XY一体式平台、Surface系列平面气浮平台以及高精度转台，具备纳米级分辨率、亚微米级重复定位精度与优异的动态响应特性，能够全面满足激光直写及制版光刻中对高速图形写入、精密调焦与多自由度对准的严格要求。


推荐产品

CFT-XY系列
CFT-XY系列
# #

XY一体式精密平台，凭借纳米级定位和高动态响应，在微纳直写光刻中应对高速高精度对准难题

Surface系列
Surface系列
# #

作为平面气浮平台，以其无摩擦、高动态的特性，为激光直写提供高速扫描与高精度成像

SurfaceZ系列
SurfaceZ系列
# #

作为垂直运动Z向平台，为直写光刻设备提供纳米级自动对焦与调平能力

Surface-Theta系列
Surface-Theta系列
# #

作为高精度转台，用于承载工件实现角秒级精密角度定位与分度

赋能案例

提高良率与效率，高精度运动平台赋能激光直写技术创新发展 微纳直写光刻机中，运动台出色的动态性能，提高光刻精度与效率
提高良率与效率，高精度运动平台赋能激光直写技术创新发展
# #

查看详情
# #
微纳直写光刻机中，运动台出色的动态性能，提高光刻精度与效率
# #

查看详情
# #
# #

技术资料

一站式产品资料库

# #

售后服务

全周期持续护航

# #

常见问题

高频疑问即查即得

#

需要工程师帮助选型或者获取报价?

联系我们，打造你的定制化精密运动解决方案

即刻留言
# #
#
提交表单