在精密制造与检测领域，精度每推进一小步，都是技术跨越的一大步。无论是晶圆检测中的实时对焦，还是光学元件间的微米/纳米级对准，无不考验着运动控制平台的极限性能。

为应对这一挑战，地心科技全新升级 ZTT-V2系列三轴偏摆台，以一体式结构设计与核心自研技术，重塑精度、响应速度与结构刚性之间的高性能平衡。

01 产品介绍

作为垂直升降与水平调平三轴一体式精密定位平台，ZTT-V2利用自研直线电机驱动，采用精密球形铰链耦合技术，具备非常优秀的微动精度和动态性能。平台整体高度低、结构紧凑，刚性优异，负载能力达10kg，并兼容洁净室环境要求。

ZTT-V2在具备点到点静态定位精度的同时，还具备非常突出的动态精度，可以适应对微动和动态跟随误差要求严格的晶圆缺陷检测、光学对准、面板检测及无掩膜光刻等应用，根据传感器聚焦高度实时调整高度与角度姿态，全方位解决客户的运动控制难题。

02 产品特点

■ 升降(Z)和调平（Tip-tilt）一体平台 

■ 采用球形铰链结构，多轴联动控制 

■ 结构紧凑，侧面高度低 

■ Z向微动步距20nm，Tip-tilt微动步距0.05 arc sec 

■ 自研直线电机驱动，具备优秀的动态性能

Z向20nm步进

各轴在位稳定性

03 产品尺寸及规格

备注：

(1) 空载，需配置相应功率的放大器；

(2) 默认测试点位置为台面上方25 mm。

04 应用场景