• 直驱电机高精度定位平台

• 高性能低成本解决方案

• 坚固的机械结构

• 灵活的配置选项（不同行程、台面和反馈）

• 行程范围100mm到800mm

• 最大速度可达2000mm/s，最大加速度可达2g

• 可选单侧或双侧线缆管理

• XY一体式中空直驱平台，可用于双向划线

• 高动态性能

• 交叉滚柱导轨

• 结构紧凑，低侧面高度，阿贝误差小

• 150mm*150mm和250mm*250mm行程可选

• 分辨率1nm，重复定位精度±150nm，定位精度±300nm

• 在位稳定性3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）

  
  

  
  

5nm最小步进（ASH反馈选项，配置线性放大器）

• 直驱气浮平台

• 高动态性能（截止频率大于120Hz）

• 空气环绕型预负载，零摩擦

• 高刚性和重负载设计

• 分辨率1nm，重复定位精度±0.1μm，定位精度±0.2μm

• 气隙平均效应，直线度平面度可达±0.5μm/100mm

• 行程最可达500mm，带线缆管理

• 高精密零膨胀光栅反馈可选