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ALP系列

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ASML系列

气浮转台，低高度扁平化设计

ASP系列

高速气浮转台，最大转速5000rpm

RAB系列

气浮转台，最大转速2000rpm

ART130-20G系列

高精度直驱偏摆台

HRMS系列

大负载机械直驱转台，大直径双圆形轴承设计

LART系列

大负载机械直驱转台，高瞬时负载刚性

LPAR系列

重载大中空机械直驱转台

RSML系列

高速机械直驱转台，低侧面高度

RSMT系列

重负载高精度机械直驱转台

Surface-Theta系列

高精度直驱转台，配置选项丰富

AB100/150系列

Tilt/Yaw双轴直驱转台

G100/200系列

多轴转台，Tip/Tilt/Yaw三轴旋转或者Tilt/Yaw两轴旋转可选

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高精度直驱升降台

ART165V-5系列

高精度直驱升降台

SMH-V系列

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SurfaceZ系列

低高度直驱升降台

VC60-5系列

高精度直驱升降台

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气浮龙门系统

机械龙门系统

Surface系列

高精度气浮龙门，H型结构

SLM1500系列

双驱机械龙门

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直线电机

DXSC系列

无铁芯直线电机，超紧凑结构

DXUC系列

无铁芯直线电机，轻量化设计

DXC系列

无铁芯直线电机，适用于高动态周期性运动

DX系列

无铁芯直线电机，精准平衡推力及效率

DXH系列

无铁芯直线电机，适用于各类长行程、大负载场景

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半导体及集成电路

光学与光通讯

医疗及生命科学

激光加工

CUBE-4系列

XYZT一体式设计直驱平台，适用生物/晶圆检测扫描

ZR100系列

升降旋转一体平台，多用于晶圆/生物检测

ZTT-V2系列

三轴一体式调平台，多用于晶圆检测/光学台面调整/高倍显微镜载台

FAP系列

六轴光纤对准平台

MINI-X1-Y1-Z1系列

六轴光纤耦合平台

CUBE-4系列

XYZT一体式设计直驱平台，适用生物/晶圆检测扫描

MicroL-Z系列

XYZ一体式平台，多用于生物组织结构观测及膜厚测量

SC1系列

直线旋转一体式平台，用于波导管加工及心血管支架切割

SC2系列

直线旋转一体式平台，用于波导管加工及心血管支架切割

SC5系列

直线旋转一体式平台，用于波导管加工及心血管支架切割

YZX130系列

高精度侧向安装直驱转台，适用于支架和管材加工

ZR100系列

升降旋转一体平台，多用于晶圆/生物检测

SC1系列

直线旋转一体式平台，用于波导管加工及心血管支架切割

SC2系列

直线旋转一体式平台，用于波导管加工及心血管支架切割

SC5系列

直线旋转一体式平台，用于波导管加工及心血管支架切割

YZX130系列

高精度侧向安装直驱转台，适用于支架和管材加工

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2026-03-05